cs200气体质量流量控制器，采用先进传感器和温度补偿技术，因此产品精度可以达到设定值1%以内，并且低温度系数可以保证产品适应不同的环境温度。同时，产品采用高速控制算法使整个流量计的响应时间方面更加岀色。全量程范围内，cs200c产品可在800ms以内达到设定流量，响应时间将使用过程中产生的系统误差最小化，所需流量更加精准。
cs200质量流量控制器&流量计 产品详情
优势
• 采用的恒功率传感器原理，在温度变化时进行相应的补偿，从根本上抑制了流量计的零漂现象，保证了传感器线性。
• cs200c产品采用专门的金属表面处理技术，与气体接触的表面金属材料全部使用316lvv，cs200c产品金属表面粗糙度更可达10ra以下，cs200d产品金属表面粗糙度可达25ra。
• cs200产品严格按照semi标准生产制造，尺寸符合通用的semi标准。
• cs200系列产品支持±8v~±16v双电源, +14v~+28v单电源供电;数字，模拟输入输出。
• 产品支持rs485，devicenet通讯方式。
• 具有多气体多量程功能、自动归零功能、报警功能、软启动功能、延迟功能及功能强大的免费客户端使用软件。
技术参数
cs200
型号
cs200-a
cs200-c
cs200-d
阀类型
常开(流量规格 ≤ 30slm)
或常闭
无
常开或常闭
无
常开或常闭
无
流量规格(n2)
(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) sccm
(0～1,2,3,5,10,20,30,50) slm
(0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) sccm
(0～1,2,3,5,10,20,30) slm
准确度
±1.0% s.p. (≥35% f.s.)
±0.35% f.s.(＜35% f.s.)
线性
±0.5% f.s.
重复精度
±0.2% f.s.
响应时间
≤ 1sec
≤ 0.8sec
工作压差范围
0.05～0.35mpa 流量规格≤10slm
0.1～0.35mpa 10＜流量规格≤30slm
0.2～0.45mpa 30＜流量规格≤50slm
＜0.02 mpa
0.05～0.35mpa
流量规格≤10slm
0.1～0.35mpa
流量规格＞10slm
＜0.02 mpa
0.05～0.35mpa
流量规格≤10slm
0.1～0.35mpa
流量规格＞10slm
＜0.02 mpa
工作压力
0.45mpa
温度系数
零点： ≤±0.05% f.s./℃；
调节时： ≤±0.1% f.s./℃ 流量规格≤30slm
调节时： ≤±0.2% f.s./℃ 流量规格＞30slm
零点： ≤±0.02% f.s./℃；
调节时： ≤±0.05% f.s./℃
耐压强度
3mpa
漏率
1×10-10 pa·m3 / sec he
1×10-11 pa·m3 / sec he
密封材料
氟橡胶
金属密封
工作环境温度
（5～45）℃
（0～50）℃
输入信号
数字： rs485 或 devicenet 或 profibus
模拟：(0～5)vdc 或(4～20)ma 或(0～20)ma
无
数字： rs485
或devicenet
或 profibus
模拟：(0～5)vdc
或(4～20)ma
或(0～20)ma
无
数字： rs485
或devicenet
或 profibus
模拟：(0～5)vdc
或(4～20)ma
或(0～20)ma
无
输出信号
数字：:rs485 或 devicenet 或 profibus
模拟：(0～5)vdc 或(4～20)ma 或(0～20)ma
零漂
在没有零点校正时＜0.6%f.s./年
电源
±8 ～ ±16 vdc (双极)或 +14 ～ +28 vdc (单极)
表面化学成分
常态
cr/fe 比例 ≥2.0, cro 厚度 ≥ 20 （埃）
常态
表面粗糙度
25 ra
10 ra
25 ra
标准接头形式
双卡套 φ6；双卡套 1/4´´；双卡套 3/8´´；vcr1/4´´阳接头；双卡套φ3；
双卡套 1/8´´；vco 1/4;φ6(内)x1 软管接头; φ5(内)x1.5 软管接头；
φ4(内)x1 软管接头;双卡套φ10mm；a 型密封接头;
双卡套φ3；双卡套φ6；双卡套 1/4；vcr1/4 阳接头；
1.5´´c 型密封接头;1.5´´ w型密封接头
电源接头形式
d 型 9 针阳接头；d 型 15 针阳接头；devicenet 接头； profibus 接头；模拟接头
重量
1 kg
0.8kg
1.2kg
1kg
1.2kg
1kg
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